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具有TiON / TaON多层复合栅极电介质的InGaAs金属氧化物半导体电容器的界面和电学性质

上传者: 2021-03-06 04:30:17上传 PDF文件 904.19KB 热度 10次
具有TiON / TaON多层复合栅极电介质的InGaAs金属氧化物半导体电容器的界面和电学性质
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