蓝绿激光作用下沉积态Ag

用反射率对比度来衡量晶化程度,分别探讨了脉宽为500 ns,100 ns,60 ns的蓝绿激光(514 nm)作用下沉积态Ag11In12Sb51Te26相变薄膜的晶化性能,表明Ag11In12Sb51Te26相变薄膜在蓝绿激光下可具有较高的晶化速度。对比分析了热致晶化后的Ag11In12Sb51Te26薄膜在514 nm处的反射率对比度,结果表明激光晶化和热致晶化后薄膜的反射率对比度有明显差别,分别为8%和19.2%。