电容 电压测量技术、技巧与陷阱

在“半导体C-V测量基本原理”一文中,我曾谈到,电容-电压(C-V)测试长期以来被用于判断多种不同器件和结构的各种半导体参数,适用范围包括MOSCAP、MOSFET、双极结型晶体管和JFET、III-V族化合物器件、光伏(太阳能)电池、MEMS器件、有机薄膜晶体管(TFT)显示器、光电二极管和碳纳米管等等。研发实验室广泛利用C-V测量技术*测新材料、工艺、器件和电路。负责产品和良率增强的工程技术人员利用它们优化工艺和器件性能。可靠性工程师利用这类测量技术对供货商的材料进行资格检验,监测工艺参数,分析失效机理。毋庸置疑,它们是半导体特征分析与测试的基础。 本文讨论如何针对特定的应用选择合适