使用4215 CVU 电容电压单元进行fF飞法电容测量

半导体电容一般是皮法 (pF) 级或纳法(nF) 级。许多商用 LCR 或电容表可以使用适当的测量技术测量这些值,包括补偿技术。但是,某些应用要求飞法 (fF) 或 1e-15级的非常灵敏的电容测量,包括测量金属到金属电容、晶圆上的互连电容、MEMS器件如开关、或者纳米器件上端子间的电容。如果没有使用适当的仪器和测量技术,我们很难测量这些非常小的电容。 通过使用工具,如选配4215-CVU电容电压单元(CVU)的Keithley 4200A-SCS参数分析仪,用户可以测量各种电容,包括《1 pF的超低电容值。CVU设计有独特的电路,通过 Clarius+ 软件进行控制,支持多种特性和诊断工具