浅谈MEMS陀螺仪技术 MEMS是否取代光纤陀螺仪技术

MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪,就是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪就是这种,主要作用是在GPS没有信号时,通过陀螺仪的作用仍然能够继续导航。MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪,绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。mems陀螺仪的特点:MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理,将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号,其部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、