详解MEMS振动陀螺仪.pdf

微电子系统（MEMS）技术以微观尺度融合电气和机械系统，彻底改变了惯性传感器。自1991年Draper实验室首次对微机械陀螺仪进行演示以来，已经有了在表面微机械加工微机械加工，混合表面-体粒加工技术或替代制造技术中制造的各种微机械陀螺仪设计。受到同一时代微机械加速度计取得巨大成功的启发，广泛研究商用微机械陀螺的研究工作引领了一些创新的陀螺仪拓扑，制造和集成方法以及检测技术。因此，在各种基于微机械加工的批量制造工艺中，已经有效地实施并演示了利用振动元件进行试验并检测科里奥利力的振动微机械陀螺仪。然而，实现制造变化和环境波动的可能性仍然是微机械振动速率陀螺仪商业化和大批量生产中最大的挑战之一。