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MEMS陀螺仪原理.pdf

上传者: 2019-08-02 04:01:57上传 PDF文件 199.52KB 热度 46次
mems陀螺仪即硅微机电陀螺仪,绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统
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