磁控溅射ZnO:Al的有限元模拟与实验研究

铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)薄膜适合用作铜铟镓Selenium化Cu(In,Ga)Se(2)薄膜太阳能电池中的透明导电电极。 在磁控溅射过程中,沉积在钠钙玻璃上的ZnO:Al的电阻率和膜质量不均匀。 根据目标上方磁场的测量结果,分别沿垂直方向和水平方向观察到明显的磁场分布不均。 随着靶材和基板之间的距离变长,两个磁极之间的磁场强度变得更低且更平坦。 基于有限元分析的仿真结果,验证了磁场分布的不均匀性会影响Ar(+)粒子碰撞和氧化锌(ZnO)粒子在基板上不同区域沉积的可能性。 在磁场强度较强的情况下,可以获得较高的ZnO:Al膜电阻率。