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含预反馈的激光自混合干涉型位移测量结构

上传者: 2021-02-22 06:59:38上传 PDF文件 216.31KB 热度 15次
提出了含预反馈的激光自混合干涉型位移测量结构,建立了系统模型,经理论分析和实验验证,结果表明:该结构具有提高温度量程、提高测量信号信噪比及获得粗糙表面的锯齿干涉信号等特点.
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