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激光自混合干涉仪的实验研究

上传者: 2021-02-22 06:59:47上传 PDF文件 120.42KB 热度 12次
分析了激光自混合干涉仪位移测量误差及特点,提出了干涉仪的设计原则。对激光自混合干涉仪的系统稳定性与测量分辨力进行了实验研究,给出了改善系统稳定性与测量分辨力的有效方法。
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