基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术

通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅, 提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术, 用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅, 衍射光沿入射光方向返回激光腔后, 腔内会发生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术, 高精度地测量一维和二维微位移。利特罗结构和LFGI系统具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明, 利特罗式LFGI系统的位移测量精度可以达到10 nm量级。