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反射相移型激光自混合干涉仪的大量程位移实时测量技术

上传者: 2020-03-16 13:22:44上传 PDF文件 638.19KB 热度 21次
反射相移型激光自混合干涉仪的大量程位移实时测量技术,刘强,王鸣,从金属介质膜对反射的自混合激光引入相移出发,研究了激光自混合干涉仪的新型测量技术。通过对玻璃基片镀金属膜对激光强度进行�
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