激光诱导铝热反应在多晶硅上制备Ni和NiSi 上传者：tonydin 2021-02-24 15:24:48上传 PDF文件 1022.96KB 热度 45次 提出一种生成难熔金属硅化物的新方法,用CO2激光诱导氧化物-铝粉热化学反应在多晶硅表面获得Ni和NiSi2膜.AES和XPS分析给出膜层的组分和深度浓度分布.通过对实验参量的分析认为,不同终相的形成与共晶过程有关. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
