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激光诱导铝热反应在多晶硅上制备Ni和NiSi

上传者: 2021-02-24 15:24:48上传 PDF文件 1022.96KB 热度 10次
提出一种生成难熔金属硅化物的新方法,用CO2激光诱导氧化物-铝粉热化学反应在多晶硅表面获得Ni和NiSi2膜.AES和XPS分析给出膜层的组分和深度浓度分布.通过对实验参量的分析认为,不同终相的形成与共晶过程有关.
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