软X射线多层膜光栅的衍射特性 上传者：Ellisytle 2021-02-22 05:22:06上传 PDF文件 179.13KB 热度 34次 用X射线运动学理论对软X射线多层膜光栅的衍射特性进行了研究.发现其衍射规律与多层膜的布拉格衍射和普通光栅衍射有本质的区别,可将衍射能量集中于某一衍射级上,同时它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨本领等优良特性. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
