软X射线并联平场光栅的设计

为了拓宽软X射线平场全息凹面光栅的工作波段, 提出了并联平场全息凹面光栅的优化设计方法。利用遗传算法, 将两块工作波段不同的平场光栅设计在同一基底上。两块平场光栅的工作波段分别为2~5 nm 和5~30 nm, 两者使用结构完全相同。应用光线追迹的方法, 研究了并联平场光栅的分辨特性, 其分辨率与现有商用平场光栅的分辨率相当。基于光程函数理论, 给出了并联平场光栅的制作光路, 理论设计值和光路优化值的线密度偏差在±1 line/mm以内。 数值模拟结果显示, 并联平场光栅既拓宽了工作波段, 又保证了分辨率与现有平场光栅分辨率相当, 其设计适用于记录更宽波段的软X射线光谱。