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软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性

上传者: 2021-04-07 06:35:59上传 PDF文件 2.42MB 热度 10次
详细给出了软X光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性,井进行了分析.
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