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45°角入射的13.1nm软X射线多层膜的研制

上传者: 2021-02-21 08:46:00上传 PDF文件 961.65KB 热度 12次
报道了对45°入射角高反的13.1 nm软X射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软X射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法, 获得了26.2%的实测反射率, 该反射率已达到理论反射率的70%。
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