热蒸发和离子辅助淀积氟化镱红外薄膜特性研究

研究了热蒸发法和80,120 V偏压下的氩离子辅助淀积的氟化镱(YbF3)红外薄膜的光学特性和微观结构,用光度计和椭偏仪分别测量了YbF3薄膜在中红外波段的透射率、折射率以及消光系数色散曲线,并用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)谱仪研究了薄膜的断面结构和晶相结构。实验发现,两种沉积技术淀积的YbF3薄膜均为无定形结构,且氩离子辅助较未加氩离子辅助的阻热蒸发淀积的YbF3薄膜聚集密度更高,水吸收峰明显减小,与基板结合的更优。120 V偏压下所获取的高能量氩离子辅助淀积的YbF3薄膜聚集密度接近1,几乎完全消除了水吸收损耗。