离子辅助淀积镀膜技术的应用

在亚利桑那大学和其它单位正在继续进行一项有很大希望的离子辅助淀积镀膜技术。用普通方法淀积的透射膜,各次工作之间的折射率会发生变化,有时甚至单层膜也如此。周围环境的湿度由于微气孔对水的吸收或解吸也使折射率变化。因此清除这些气孔和其它结构特性(由于到达基底的附加原子的有限迁移率所致),可以形成更致密、更稳定和更均匀的淀积层。这样,就能制作更完善的多层光学膜。