多光谱氮氧化铪薄膜光学特性研究

采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积3~5 μm和7~10 μm具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,从而研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8 nm/s减小到0.05 nm/s,氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80,而消光系数从1×10-3增大到8×10-3,禁带宽度从5.62 eV减小到5.5 eV。在多光谱硫化锌基片上镀制增透膜和氮氧化铪薄膜后测试光谱曲线,3.0~5.0 μm波段的透射率为82.16%,7.0~10.0 μm波段的透射率为82.84%,结果表明,氮氧化铪薄膜在中波和长波红外区域具有高的