激光斜入射对薄膜光学特性影响的数值分析

针对斜入射激光辐照光学薄膜的情况,将激光的电矢量正交分解为s偏振和p偏振,并从麦克斯韦方程组出发,求得激光在膜层中传输的电磁场分布,进而对薄膜的光学特性进行了数值分析。以高反膜为例,结果表明:随着入射角的增大,s偏振光的反射率、透射率和吸收率有微小的浮动;而p偏振光的反射率、透射率和吸收率有明显的变化,其反射率逐渐减小,透射率和吸收率逐渐增大;在高反膜中心波长附近,s偏振光和p偏振光均有一高反宽带,与s偏振光相比,p偏振光的宽带明显变窄,且p偏振光的吸收率相对较高。