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激光化学气相沉积非晶硅

上传者: 2021-02-08 06:51:31上传 PDF文件 4.3MB 热度 17次
本文报道了CO2激光化学气相沉积非晶硅的实验研究。实验结果表明,非晶硅的沉积速率与气室气压和基片温度密切相关。用各种手段测试了样品的性质,证实沉积得到的薄膜确是非晶硅,而且具有良好的光电导性。
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