大面积激光化学沉积的WO

Name: 大面积激光化学沉积的WO
Rating: 4.5 (46 reviews)
Author: tiantianshuimei

上传者：tiantianshuimei 2021-02-23 09:51:07上传 PDF文件 2.55MB 热度 46次

本文报道了首次用XeCl准分子激光器大面积地沉积WO3膜层,膜层面积为1cm~2,沉积速率为41A/pulse,并测量了膜层的组分,电阻率等特性。

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大面积激光化学沉积的WO

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