基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究

准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小, 算法平均误差为0.15 pm。通过研究强度阈值对5种寻峰算法的影响, 明确了阈值优化对减小寻峰算法误差的重要性。选取各算法最佳强度阈值来优化算法, 结果表明, 高斯非线性曲线拟合寻峰算法的误差最低为0.04 pm, 平均算法误差为0.06 pm, 选取该寻峰算法作为绝对波长校准核心算法, 能满足校准精度要求。通过对影响算法的误差原因进行分析, 证明噪声大小是影响高斯非线性曲线拟合寻峰算法误差的主