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氩准分子激光器

上传者: 2021-02-10 04:36:04上传 PDF文件 1.73MB 热度 18次
半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等,对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近,电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。
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