XeCl准分子激光器寿命的研究

XeCI准分子激光器的寿命主要取决于HCI消耗的情况。实验结果表明,在环氧树脂筒的激光器室中,补充适量而价廉的HCI气体,器件寿命就可延长。我们在一次充入Xe气和Ar气的前提下,适时补充几次HCI,已获得大于1.03×10~6个脉冲输出,即在每秒5.3次的重复率和脉冲能量约100mJ的情况下,器件连续工作54hr还能正常运转。最大输出能量160mJ,文中还讨论了HCI对激光输出性能的影响。