外延PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度对铁电储能性能的影响

通过修正的Landau-Devonshire热力学模型构建了PbZr0.4Ti0.6O3/SrTiO3异质结的电滞回线方程, 得到了剩余极化强度Pr、矫顽电场Ec和有效储能密度Wrec的关于PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度h的解析函数, 进而研究了连续厚度h对PbZr0.4Ti0.6O3薄膜铁电性能和铁电储能性能的影响。结果表明, Pr, Ec 和Wrec均随PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度h的增加呈非线性增大, 且当厚度h分别为57.0 nm、64.2 nm和65.8 nm时, 达到饱和值75.3 μC·cm-2、2 240.7 kV·cm-1和9.0 J·cm-3, 而能量转换效率