用于智能汽车的高性能MEMS传感器

微机电系统(MEMS)技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今,这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置,并带来系统在降低成本、持续可靠性(由于固有的稳健性)、空间利用(由于其紧凑的尺寸)以及工作性能等方面相当大的设计优势。 一般而言,汽车中使用的MEMS传感器可分为四类: 加速度计和陀螺仪。 用于测量流量和压力的传感器。 用于车载应用的传感器,包括可改善和监控道路视觉的红外传感器,进行车内温度和空气质量测量的传感器,以及用于平视显示器的微型扫描仪等。 用于汽车雷达的射频传感器。