电子测量中的提供电介质测试标准的晶圆

前端非接触电介质电学测试仪是工艺工程师的基本工具之一,它能够每天显示我们关心的电学测试参数,并且当某一参数超过限制时提供警报,显示可能的工艺偏移。在生产中,测试人员对关键工艺提供统计过程控制(SPC),fab靠这些结果来对生产线上的设备和工艺中的圆片做出正确的估计。 然而,部分是由于缺少好的测试方法,非接触测试仪目前做得并没有市场所期望的那样好。典型的情况是,测试仪的精度比基准圆片的还高,从而导致监控和测量结果没有稳定的参考,而使结果缺乏重复性。这样会很难判断炉管测试结果差,到底是由于炉管的沾污引起还是由不受控的测试仪造成的。 这是一个严重的事情。因为在现有的技术下,只有保证测试仪重复性,