溶胶 凝胶法制备高(222)取向铌酸铋镁薄膜

采用溶胶-凝胶法和快速热退火(RTA)技术成功地在SiO2 / HR-Si衬底上成功制备了高(222)取向的Bi1.5MgNb1.5O7薄膜。 使用X射线衍射,高分辨率透射电子显微镜和原子力显微镜对薄膜进行表征。 结果表明,由此得到的膜具有立方烧绿石结构,表面规则且光滑,并表现出约170的优良介电常数。(222)取向BMN薄膜的生长可以解释为自组装过程,阐述了自组装过程的机理。 膜的大介电常数的形成主要归因于高(222)取向和大的面内拉伸应变。 (C)2016 Elsevier BV保留所有权利。