1. 首页
  2. 考试认证
  3. Linux/Unix认证
  4. 集成电路制造技术——原理与工艺 第四章热氧化

集成电路制造技术——原理与工艺 第四章热氧化

上传者: 2020-08-29 03:42:15上传 PPT文件 7.42MB 热度 14次
集成电路制造技术——原理与工艺----第四章热氧化 4.1二氧化硅薄膜概述 4.2 SiO2的掩蔽作用 4.3 氧化机理 4.4 氧化系统、工艺 4.5 影响氧化速率的各种因素 4.6 杂质再分布 4.7 SiO2/Si界面特性 4.8 氧化层的检测
用户评论