外延工艺原理 上传者:qq_26784 2020-12-12 13:17:32上传 PDF文件 58.29KB 热度 33次 §2.1 外延技术概述 1.5学时 课程内容: 1 外延分类 1.1 由外延材料的名称不同分类 1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类 1.2.1 同质外延 1.2.2 异质外延 1.3 由器件作在外延层上还是衬底上分类 1.3.1 正外延 1.3.2 负外 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论