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集成电路制造技术——原理与工艺 第三章外延

上传者: 2020-08-28 16:30:29上传 PPT文件 4.46MB 热度 13次
集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延 3.1 概述 3.2 气相外延 3.3 分子束外延 3.4 其它外延 3.5 外延层缺陷及检测
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