外延辅助工艺

课程内容: 1 氯化氢抛光工艺 1.1 抛光目的 1.2 氯化氢抛光工艺 1.2.1氯化氢抛光方法 1.2.2 氯化氢抛光步骤 1.3 腐蚀反应和腐蚀速率 1.3.1 腐蚀反应 1.3.2有关腐蚀速率 1.4 讨论 1.4.1 腐蚀速率与氯化氢气体分压有关 1.4.2 腐蚀速率与温度关系不明显 1.4.3 在一定温度下,应用氯化氢气体分压有最大值限制 1.4.4 有关其它抛光工艺 2 外延掺杂工艺 2.1 掺杂工艺原理 2.1.1外延掺杂是与外延同时进行的 2.1.2掺杂动力学原理 2.2 外延层中的掺杂浓度 2.3 掺杂方法 2.3