KLA Tencor发布全新SURFmonitor系统 上传者：zlk41799 2020-12-03 13:15:06上传 PDF文件 92.8KB 热度 10次 KLA-Tencor正式发布最新 SURFmonitor 系统,该模块扩展了业界领先的 Surfscan SP2 无图形表面检测系统,超越了传统的缺陷检测范围,具备监控工艺变化和偏移的能力。 SURFmonitor 系统专门用于测量裸晶片或薄膜表面形态变化,而这些变化与多种工艺参数如表面粗糙度、微粒尺寸和温度等均有关联。该系统可在收集缺陷信息的同时,在不到一分钟时间内生成具备亚埃级重复性的详细全晶片参数图,使代工厂能够同时监控工艺变化和缺陷情况。SURFmonitor 构建于 Surfscan SP2 平台之上,表现出无可比拟的重复性和匹配能力。 “当今的先进集 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 zlk41799 资源：459 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
