基础电子中的微电子与光电子集成技术简介

微电子技术已经成为推动现代科学技术飞速发展的主流技术,而光电子技术在能源、通信、人工智能等方面有着极其广泛的应用。微电子技术、光电子技术及生命科学技术己经成为现代科学技术的三大支柱。 在过去几十年的发展中,微电子工艺一直按照摩尔定律进步着。微电子工艺的进步最显著的特点就是工艺尺寸越来越小,集成度越来越高,成本越来越低。可以说,现代科学所追求的低功耗、便携式等特点正是微电子工艺的进步所带来的。但是,随着微电子工艺尺寸向纳米级前进,各种物理效应带来的瓶颈也越来越明显。纳米尺度已经接近原子的尺寸,因此对电流、电压效应已经不能粗略地做宏观的考虑了,必须微观地考虑到电子的移动、撞击等作用。表现在宏