单片光电子集成技术

单片集成就是在将集成电路和光电子器件制作在同一材料上,将微电子与光电子技术的优势相互结合,以期达到性能。单片集成的光电子集成回路具有结构紧凑、器件一体化、集成度较高等特点 ,但由于光子器件和电子器件无论是材料和器件结构方面,还是在制作工艺方面差异都非常大,实现光子器件和 电子器件在材料、结构和工艺等都具有很好的兼容性还需要大量的研究工作。 利用硅作为基本材料,采用成熟的标准集成电路工艺制作光电子器件和光电子集成回路,在成本上和工艺成熟 度上具有无可比拟的优势,必将成为制作光电子芯片和解决电互连问题的方案。硅基光电子器件和单片集成 芯片的发展得益于材料科学、计算机科学、微细加工技术、现代化