高精度激光直写数字伺服滤波器的设计

为提高激光直写控制系统的定位精度、定位时间和系统响应度,设计了一种数字伺服滤波器。该滤波器以伺服系统的三环PID控制原理为基础,并在设计中加入了具有实际问题性的前馈补偿模块;建立了以TMS3202812处理器组成的数字伺服滤波器模型;并对该模型进行了模拟仿真分析,然后移植到处理器中;最后通过验证,提高了位置定位和速度稳定精度。实验结果表明,整个系统输入与输出时差小于100Ls;无噪音无振荡,效果很好;定位精度误差控制±1μm范围内。