单片机与DSP中的高精度激光直写数字伺服滤波器的设计

激光直写技术是一种近年来应用广泛的超精密加工技术。该技术是一种利用强度可变的激光束,在基片表面实施有规则的高精度扫描。在扫描过程中,光刻基片随载物平台而运动。因此影响光刻元件的质量取决于载物平台的定位精度以及运动的稳定性,影响光刻元件的快速性取决于系统的响应度。 基于数字式伺服的运动控制器是超精密定位系统的关键。由于数字伺服滤波器是数字式伺服的运动控制器的核心,从而数字伺服滤波器的设计将影响系统的定位精度。 数字伺服滤波器是指系统的闭环控制与调节采用数字技术,所有控制调节实现软件化。调节器的全部软件化使控制理论中很多控制思想和手段得以应用。同时利用软件很容易完成参数的自由化和故障的