用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作

为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH 不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm 的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100 量级,可用于高精度非球面的检测。