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基于多晶铸锭工艺的准单晶技术系统性总结

上传者: 2020-10-28 01:36:04上传 PDF文件 121.88KB 热度 8次
准单晶(MonoLike)是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片。这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多5%,所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅。
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