单晶、多晶硅片生产工艺流程详解(下) 上传者:qq41613 2020-08-08 19:47:53上传 PDF文件 163.64KB 热度 51次 在单晶、多晶硅片生产工艺流程详解(上)中,笔者介绍了单晶和多晶硅片工艺流程的前半部分,概述了一些工艺流程和概念,以及术语的相关知识。而本文则是从切片工艺开始了解,到磨片和吸杂,看硅片如何蜕变。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论