多晶硅铸锭生产气体在线检测系统

针对目前铸锭产品的品质效果缺乏有效及时的在线测试方法, 本文提出了多晶硅铸锭生产气体在线检测系统。该系统通过对铸锭生产过程中排出的工艺性尾气——氩气进行干泵取样、增压测试、实时分析等技术, 实现了在线式自动取样实时分析, 超限报警的功能, 可实时根据生产过程中炉腔内气氛的变化, 提早发现铸锭炉的故障和异常, 减少异常产品的出产率。通过后续电池数据的支撑, 可确定设备漏水和漏气的极限值,达到精细化调控硅锭质量、危险预警的效果, 为铸锭氩气回收系统做好预研的准备。