1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化

多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化

上传者: 2020-07-17 18:31:01上传 PDF文件 968.73KB 热度 12次
多晶硅铸锭炉喷淋式氩气导流系统数值模拟优化,苏文佳,李琛,通过优化氩气流场可以降低多晶硅铸锭中杂质分布及数量,从而生长高质量晶体。本文使用Fluent软件对氩气死区、盖板开孔、氩气出口数
用户评论