硅中注入硼的扩散硅中注入硼的扩散 上传者：蓝栏 2020-09-21 08:01:05上传 PDF文件 258.48KB 热度 25次 硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工艺的关键问题之一. 对硼在硅中 的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
