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硅中注入硼的扩散硅中注入硼的扩散

上传者: 2020-09-21 08:01:05上传 PDF文件 258.48KB 热度 20次
硼是半导体材料中最主要的杂质,而精确控制杂质浓度剖面是半导体工艺的关键问题之一. 对硼在硅中 的扩散从理论与实验的结合方面进行了系统的讨论.
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