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多晶硅与单晶硅的扩散分析.pdf

上传者: 2020-07-21 10:13:32上传 PDF文件 139.59KB 热度 21次
多晶硅片是由很多不同的单晶硅组成,各单晶晶粒晶向不同,形状也不规则。同一晶粒内部原子排列呈周期性和有序性。多晶硅与单晶硅
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