1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 掺硼非晶硅薄膜的性能研究

掺硼非晶硅薄膜的性能研究

上传者: 2020-04-01 03:53:11上传 PDF文件 1.08MB 热度 30次
掺硼非晶硅薄膜的性能研究,朱魁鹏,吴志明,摘要:用等离子体增强化学气相沉积法制备了掺硼氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率和均匀性进行了研究.结果表明,掺硼a-Si:H薄膜的电�
用户评论