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阳极氧化SiO2退火工艺对硅光生少子复合的影响

上传者: 2020-07-20 23:34:52上传 PDF文件 541.99KB 热度 36次
阳极氧化SiO2退火工艺对硅光生少子复合的影响,文都子,刘维峰,本论文采用电化学方法在绒面硅表面生长一层二氧化硅钝化层,在不同退火温度和时间下研究了硅的光生少数载流子复合过程。使用高频
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