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基于SOI结构的光波导表面光滑化机理

上传者: 2020-07-22 16:32:52上传 PDF文件 691.98KB 热度 10次
基于SOI结构的光波导表面光滑化机理 ,周佳玲,任馨宇,运用Material Studio软件对氢退火过程中硅氢键对硅基光波导表面粗糙形貌的作用进行了系统研究。通过对表面结构特性参数(如均方根位移
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