基于SOI结构的光波导表面光滑化机理 上传者：逆--流 2020-07-22 16:32:52上传 PDF文件 691.98KB 热度 36次 基于SOI结构的光波导表面光滑化机理 ，周佳玲，任馨宇，运用Material Studio软件对氢退火过程中硅氢键对硅基光波导表面粗糙形貌的作用进行了系统研究。通过对表面结构特性参数（如均方根位移 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
