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平面光波导器件及应用分析.pdf

上传者: 2020-06-15 12:09:03上传 PDF文件 168.93KB 热度 17次
分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况.介绍了平面光波导器件的几种不同种类,包括硅基体沉积二氧化硅光波导,铌酸锂镀金
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